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本发明涉及空间原子层沉积技术领域，提供了一种模块化旋转式空间原子层沉积系统，包括：第一壳体，第一壳体是由多个相同的可拆卸相连的单元腔室组合而成的环形结构，每个单元腔室内均间隔设有多个隔断以将单元腔室分割成多个功能区域腔；多段传动导轨，多段传...
该专利属于北京态锐仪器科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京态锐仪器科技有限公司授权不得商用。

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