温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种蚀刻机废气处理装置，包括处理柜、第一排气管、水处理套、抽气扇和轴流风机，所述处理柜内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管，所述处理柜一端开设有抽气口，所述抽气口内通过螺栓安装有抽气扇，所述处理柜另一端连接有第二排气管，所述抽...
该专利属于王莉所有，仅供学习研究参考，未经过王莉授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。