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一种蚀刻机废气处理装置制造方法及图纸

技术编号:29429727 阅读:19 留言:0更新日期:2021-07-27 16:30
本实用新型专利技术公开了一种蚀刻机废气处理装置,包括处理柜、第一排气管、水处理套、抽气扇和轴流风机,所述处理柜内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管,所述处理柜一端开设有抽气口,所述抽气口内通过螺栓安装有抽气扇,所述处理柜另一端连接有第二排气管,所述抽气口排气端上套接有水处理套,所述水处理套内壁固定安装有分水管,所述分水管出水端安装有喷头,所述水处理套顶部设有出气套,所述水处理套一端开设有出气口,所述出气套进气端通过L型气管与水处理套的出气口连接,所述第一排气管进气端与出气套的出气端连接。使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中,由水对气体进行过滤,且过滤处理后的水则排送流入废水箱内,实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻机废气处理装置
本技术涉及蚀刻机
,特别涉及一种蚀刻机废气处理装置。
技术介绍
传统的蚀刻机作业时,其蚀刻用的化学盐酸氯离子是负一价,次氯酸钠中氯离子是正一价,蚀刻冒烟后,产生氧化还原后,会生成氯气了,会对周边作业人员造成较大伤害,缺乏良好的废气处理部件。为此,我们提出一种蚀刻机废气处理装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种蚀刻机废气处理装置,通过抽气扇将蚀刻机的处理箱内的废气抽出,并排至水处理套内,通过水泵的工作,可有效将外界水源抽送至分水管内,并由分水管上的喷头对经过水处理套内气体进行喷洒,从而使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中,由水对气体进行过滤,且过滤处理后的水则排送流入废水箱内,实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种蚀刻机废气处理装置,包括处理柜、第一排气管、水处理套、抽气扇和轴流风机,所述处理柜内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管,所述处理柜一端开设有抽气口,所述抽气口内通过螺栓安装有抽气扇,所述处理柜另一端连接有第二排气管,所述抽气口排气端上套接有水处理套,所述水处理套内壁固定安装有分水管,所述分水管出水端安装有喷头,所述水处理套顶部设有出气套,所述水处理套一端开设有出气口,所述出气套进气端通过L型气管与水处理套的出气口连接,所述第一排气管进气端与出气套的出气端连接,所述水处理套底部排水端连接有废水箱。进一步地,所述L型气管进气端内的顶部和底部分布交错安装有竖向挡水板,所述L型气管出气端内交错排布安装有倾斜式挡水板,所述L型气管内且位于倾斜式挡水板顶部安装有挡水网。进一步地,所述处理柜内一侧通过螺栓安装有水泵,所述水泵的出水端通过管道与分水管进水端连接。进一步地,所述第一排气管另一端套接有轴流风机。进一步地,所述处理柜一侧底部通过铰链安装有开关门,所述处理柜一侧顶部通过螺栓安装有检修盖。进一步地,所述废水箱底部一侧设有放水口,所述处理柜底部通过螺栓安装有可制动万向轮。进一步地,所述L型气管底部依次开设排水嘴。进一步地,所述第一排气管的出气端与第二排气管进气端连接,所述第二排气管上套接有单向阀。与现有技术相比,本技术具有如下有益效果:1.人员依次将水泵、抽气扇和轴流风机开启,通过抽气扇将蚀刻机的处理箱内的废气抽出,并排至水处理套内,通过水泵的工作,可有效将外界水源抽送至分水管内,并由分水管上的喷头对经过水处理套内气体进行喷洒,从而使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中,由水对气体进行过滤,且过滤处理后的水则排送流入废水箱内,实现对蚀刻机加工产生的废气进行处理。2.通过排气管上轴流风机的抽吸,过滤后的气体通过L型气管排送至出气套内,由出气套排至排气管内,并通过排气管排出,通过L型气管内竖向挡水板的设置,由水处理套处理后的待水渍的气体可依次对竖向挡水板撞击,使得水汽逐渐凝结为水流,回流至水处理套内,并水处理套由底部排至废水箱内,通过倾斜式挡水板的设置,可对即将排出L型气管的气体进行二次撞击滤水处理,且通过挡水网的设置,排出L型气管的气体将依次接触挡水网的网孔后排出,且挂覆于挡水网上的水珠将滴落回L型气管内,从而实现对含湿汽的气体多重水气分离处理,回流至L型气管内的水渍,由L型气管底部的排水嘴排出,使得废气进行湿式过滤后,有效进行良好的水气分离处理,具有较高的实用性。附图说明图1为本技术一种蚀刻机废气处理装置的侧视结构示意图。图2为本技术一种蚀刻机废气处理装置的俯视截面结构示意图。图3为本技术一种蚀刻机废气处理装置的水处理套主视截面结构示意图。图4为本技术一种蚀刻机废气处理装置的L型气管侧视截面结构示意图。图中:1、处理柜;2、第一排气管;3、出气套;4、轴流风机;5、第二排气管;6、单向阀;7、抽气口;8、抽气扇;9、水处理套;10、分水管;11、喷头;12、废水箱;13、出气口;14、L型气管;15、竖向挡水板;16、检修盖;17、开关门;18、倾斜式挡水板;19、挡水网;20、排水嘴;21、水泵。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本技术。如图1-4所示,一种蚀刻机废气处理装置,包括处理柜1、第一排气管2、水处理套9、抽气扇8和轴流风机4,所述处理柜1内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管2,所述处理柜1一端开设有抽气口7,所述抽气口7内通过螺栓安装有抽气扇8,所述处理柜1另一端连接有第二排气管5,所述抽气口7排气端上套接有水处理套9,所述水处理套9内壁固定安装有分水管10,所述分水管10出水端安装有喷头11,所述水处理套9顶部设有出气套3,所述水处理套9一端开设有出气口13,所述出气套3进气端通过L型气管14与水处理套9的出气口13连接,所述第一排气管2进气端与出气套3的出气端连接,所述水处理套9底部排水端连接有废水箱12。其中,所述L型气管14进气端内的顶部和底部分布交错安装有竖向挡水板15,所述L型气管14出气端内交错排布安装有倾斜式挡水板18,所述L型气管14内且位于倾斜式挡水板18顶部安装有挡水网19。本实施例中如图4所示,通过挡水网19的设置,排出L型气管14的气体将依次接触挡水网19的网孔后排出,且挂覆于挡水网19上的水珠将滴落回L型气管14内,从而实现对含湿汽的气体多重水气分离处理。其中,所述处理柜1内一侧通过螺栓安装有水泵21,所述水泵21的出水端通过管道与分水管10进水端连接。其中,所述第一排气管2另一端套接有轴流风机4。其中,所述处理柜1一侧底部通过铰链安装有开关门17,所述处理柜1一侧顶部通过螺栓安装有检修盖16。本实施例中如图1所示,人员通过开关门17和检修盖16壳对处理柜1内进行检修处理。其中,所述废水箱12底部一侧设有放水口,所述处理柜1底部通过螺栓安装有可制动万向轮。本实施例中如图1所示,废水箱12的放水口便于将废水收集处理。其中,所述L型气管14底部依次开设排水嘴20。其中,所述第一排气管2的出气端与第二排气管5进气端连接,所述第二排气管5上套接有单向阀6。本实施例中如图1所示,在不工作时,单向阀6可避免第二排气管5内的气体倒灌。需要说明的是,本技术为一种蚀刻机废气处理装置,工作时,人员将处理柜1的抽气口7与蚀刻机的处理箱连接,并将水泵21的进水端与外界供水管道连接,使用时,人员依次将水泵21、抽气扇8和轴流风机4开启,通过抽气扇8将蚀刻机的处理箱内的废气抽出,并排至水处理套9内,通过水泵21的工作,可有效将外界水源抽送至分水管10内,并由分水管10上的喷头11对经过水处理套9内气体进行喷洒,从而使气体内的氯等有害化学物有效溶于水中,由水对气体进行过滤,且过滤处理后的水则排送流入废水箱12内,实现对蚀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蚀刻机废气处理装置,包括处理柜(1)、第一排气管(2)、水处理套(9)、抽气扇(8)和轴流风机(4),其特征在于,所述处理柜(1)内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管(2),所述处理柜(1)一端开设有抽气口(7),所述抽气口(7)内通过螺栓安装有抽气扇(8),所述处理柜(1)另一端连接有第二排气管(5),所述抽气口(7)排气端上套接有水处理套(9),所述水处理套(9)内壁固定安装有分水管(10),所述分水管(10)出水端安装有喷头(11),所述水处理套(9)顶部设有出气套(3),所述水处理套(9)一端开设有出气口(13),所述出气套(3)进气端通过L型气管(14)与水处理套(9)的出气口(13)连接,所述第一排气管(2)进气端与出气套(3)的出气端连接,所述水处理套(9)底部排水端连接有废水箱(12)。/n

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻机废气处理装置,包括处理柜(1)、第一排气管(2)、水处理套(9)、抽气扇(8)和轴流风机(4),其特征在于,所述处理柜(1)内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管(2),所述处理柜(1)一端开设有抽气口(7),所述抽气口(7)内通过螺栓安装有抽气扇(8),所述处理柜(1)另一端连接有第二排气管(5),所述抽气口(7)排气端上套接有水处理套(9),所述水处理套(9)内壁固定安装有分水管(10),所述分水管(10)出水端安装有喷头(11),所述水处理套(9)顶部设有出气套(3),所述水处理套(9)一端开设有出气口(13),所述出气套(3)进气端通过L型气管(14)与水处理套(9)的出气口(13)连接,所述第一排气管(2)进气端与出气套(3)的出气端连接,所述水处理套(9)底部排水端连接有废水箱(12)。


2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述L型气管(14)进气端内的顶部和底部分布交错安装有竖向挡水板(15),所述L型气管(14)出气端内交错排布安装有倾斜式挡水板(18),所述L型气管(14)内且位于倾斜式挡水板(18)顶部安装有挡水网(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:王莉
申请(专利权)人:王莉
类型:新型
国别省市:广东;44

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