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包括垂直栅极模块的横向III族氮化物器件制造技术
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下载包括垂直栅极模块的横向III族氮化物器件的技术资料
文档序号:29420147
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一种横向III‑N器件具有垂直栅极模块,该垂直栅极模块含取向为N极型或III族极型取向的III‑N材料。III‑N材料结构具有III‑N缓冲层、III‑N势垒层和III‑N沟道层。III‑N势垒层与III‑N沟道层之间的组分差异造成在III...
该专利属于创世舫科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过创世舫科技有限公司授权不得商用。
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