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描述了用于在高度共线响应空间中的规范性分析的方法、系统和非瞬态计算机可读介质。方法包括：接收与制造设备的制造参数相关的膜性质数据。方法进一步包括：确定膜性质数据是相关的并且与目标数据不同。方法进一步包括：选择与目标数据正交的膜性质数据的一组...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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