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校准装置、校准方法、程序和校准系统及校准目标制造方法及图纸
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文档序号:29418779
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校准单元60获取分别由传感器单元40中的多个传感器中的一个传感器生成并指示校准目标的检测结果的检测信号。状态检测单元61使用检测信号来检测校准目标的状态。时间差校正量设定单元65通过使用由状态检测单元61获得的校准目标的状态检测结果来计算分...
该专利属于索尼半导体解决方案公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼半导体解决方案公司授权不得商用。
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