下载一种遮罩结构及隔离柱制作方法的技术资料

文档序号:29408900

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本发明公布一种遮罩结构及隔离柱制作方法,遮罩结构包括第一掩膜框、第二掩膜框和非镂空区域;所述第一掩膜框围绕所述非镂空区域,所述第一掩膜框和所述非镂空区域具有间隔,所述第一掩膜框和所述非镂空区域之间的间隔为镂空区域;所述第二掩膜框设置在所述第...
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