下载一种加热系统和真空装置的技术资料

文档序号:29404819

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本实用新型涉及一种加热系统和真空装置,该加热系统包括:控制器和多个加热模块;所述加热模块固定于所述真空容器的表面,用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度;所述控制器与多个所述加热模块电连接,用于控制多个所述加...
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