一种加热系统和真空装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种加热系统和真空装置，该加热系统包括：控制器和多个加热模块；所述加热模块固定于所述真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度；所述控制器与多个所述加热模块电连接，用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。该加热系统能够均匀加热真空容器。

【技术实现步骤摘要】
一种加热系统和真空装置
本技术涉及真空
，尤其涉及一种加热系统和真空装置。
技术介绍
大型超真空容器的真空度通常能够达到10-5Pa，并且已经广泛应用于受控磁约束聚变装置中。不锈钢结构材料在冶炼过程中，材料长时间接触大气，也会吸附水汽、碳氢化合物及各种杂质，在抽真空时，材料表面气体的解析和扩散衰减非常慢，冷态除气无法满足超高真空容器对真空度的要求，因此需要加热烘烤处理。现有技术中，超高真空容器的加热烘烤主要有两种方式：一种是在超高真空容器的表面设置加热丝，通过热辐射和传导实现加热烘烤；另一种是真空壁夹层的通道内通入热氮气，通过传导对真空壁进行加热烘烤。但是，前者温控器只能接入一个温度传感器，大型真空容器表面积很大，需要布置较长的加热丝，且不同部位的障碍物分布情况不同，使得单个测温点不能有效反映真实的温度分布，容易导致烘烤不均匀；后者由于进气口与出气口温差大，容易导致烘烤不均匀。
技术实现思路
为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本技术提供了一种加热系统和真空装置。第一方面，本技术公开了一种加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加热系统，其特征在于，包括：控制器和多个加热模块；/n所述加热模块固定于真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度；所述控制器与多个所述加热模块电连接，用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种加热系统，其特征在于，包括：控制器和多个加热模块；
所述加热模块固定于真空容器的表面，用于对所述加热模块对应的所述真空容器的加热区域进行加热并加热至目标温度；所述控制器与多个所述加热模块电连接，用于控制多个所述加热模块使每个所述加热区域的所述目标温度相同。


2.根据权利要求1所述的加热系统，其特征在于，所述加热模块包括：加热丝、温度传感器和温度控制器；
所述加热丝和所述温度传感器均固定于所述真空容器的表面；所述温度传感器位于所述加热丝的间隙处，用于检测所述加热区域的温度；
所述温度控制器分别与所述加热丝和所述温度传感器电连接，用于根据接收到的所述加热区域的温度控制对应的所述加热丝的加热温度，以使所述加热区域的温度达到所述目标温度。


3.根据权利要求2所述的加热系统，其特征在于，多个所述加热区域包括第一加热区域和第二加热区域，所述第一加热区域的面积大于第二加热区域的面积；
所述第一加热区域内的所述加热丝的长度大于所述第二加热区域内的所述加热丝的长度。


4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：周广福，赵鑫，吴超，赵海伟，
申请(专利权)人：新奥科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13