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本发明公开了一种银复合膜层刻蚀剂及其制备方法，包括磷酸、硝酸、醋酸以及缓冲剂；以重量百分比为计，磷酸为30‑60％、硝酸为2‑20％、醋酸为12‑40％、缓冲剂为0.01‑10％和去离子水5‑50％。本发明可以将金属银及其氧化物转化为可溶于...该专利属于芯越微电子材料(嘉兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯越微电子材料(嘉兴)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种银复合膜层刻蚀剂及其制备方法，包括磷酸、硝酸、醋酸以及缓冲剂；以重量百分比为计，磷酸为30‑60％、硝酸为2‑20％、醋酸为12‑40％、缓冲剂为0.01‑10％和去离子水5‑50％。本发明可以将金属银及其氧化物转化为可溶于...