下载一种用于单晶硅片表面抛光的抛光液及其制备方法的技术资料

文档序号:29385686

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本发明公开了一种用于单晶硅片表面抛光的抛光液,包括如下重量份的组分:磨料20份‑60份;表面活性剂0.1份‑1份;金属螯合剂0.1份‑1份;pH值调节剂0.01份‑3份;水50份‑80份;其中,所述磨料为以铝包覆硅的包覆型复合磨料。本发明的...
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