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本发明提供一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法，包括：向聚酰胺酸溶液中加入溶剂，充分混合，形成混合溶液；对混合溶液进行除气；将混合溶液旋涂于硅片或玻璃片的表面上形成薄膜；将旋涂有薄膜的硅片或玻璃片放入真空炉中，排除真空炉中的空气并抽真空，对薄膜...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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