一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术提供一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法，包括：向聚酰胺酸溶液中加入溶剂，充分混合，形成混合溶液；对混合溶液进行除气；将混合溶液旋涂于硅片或玻璃片的表面上形成薄膜；将旋涂有薄膜的硅片或玻璃片放入真空炉中，排除真空炉中的空气并抽真空，对薄膜加热，使聚酰胺酸发生环化反应形成超薄聚酰亚胺薄膜。本发明专利技术制备的超薄聚酰亚胺薄膜的厚度为200nm‑1000nm，具有制备方法简单稳定的优点，所制备的纳米级的超薄聚酰亚胺薄膜适用于所有MEMS工艺制备的小型化植入式柔性器件。

【技术实现步骤摘要】
一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法
本专利技术涉及生物医疗传感器领域，具体地，涉及一种超薄聚酰亚胺薄膜及其制备方法。
技术介绍
对于生物医疗植入式传感器，需要尽可能满足下面三种特点：(1)植入式器件所选用的材料在植入生物体内除了正常实现其功能外基本上不发生任何化学反应，否则将会对被植入体或者传感器本身造成损伤(2)尽量微型化，植入式器件越小，其被植入至生物体内所造成的急性或者慢性损伤越小，对于被植入的人或者动物来说影响更小。(3)植入式传感器所选用的材料的模量应尽可能低，当传感器植入生物体后会随生物组织一起在体内微动，过大模量的材料会引起传感器和组织的相对运动，从而使得传感器长期在生物体内摩擦导致炎症反应。随着MEMS技术的不断发展，由传统的硅基工艺逐步过渡到多种基底材料的加工。对于生物医疗植入式器件来说，刚性的硅基材料由于本身模量相对于软组织较大，因此植入后容易引发各种排异反应。采用模量较低的材料特别是采用超薄微型柔性材料作为植入式生物传感器的基材可以减少这种排异反应，很大程度上增加了植入式器件在植入后的使用寿命。针对现有技术的检索发现本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄聚酰亚胺薄膜的制备方法，其特征在于，包括：/n向聚酰胺酸溶液中加入溶剂，充分混合，形成混合溶液；/n对所述混合溶液进行除气；/n将所述混合溶液旋涂于硅片或玻璃片的表面上形成薄膜；/n将旋涂有薄膜的硅片或玻璃片放入真空炉中，排除所述真空炉中的空气并抽真空，对所述薄膜加热，使聚酰胺酸发生环化反应形成超薄聚酰亚胺薄膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种超薄聚酰亚胺薄膜的制备方法，其特征在于，包括：
向聚酰胺酸溶液中加入溶剂，充分混合，形成混合溶液；
对所述混合溶液进行除气；
将所述混合溶液旋涂于硅片或玻璃片的表面上形成薄膜；
将旋涂有薄膜的硅片或玻璃片放入真空炉中，排除所述真空炉中的空气并抽真空，对所述薄膜加热，使聚酰胺酸发生环化反应形成超薄聚酰亚胺薄膜。


2.根据权利要求1所述的超薄聚酰亚胺薄膜的制备方法，其特征在于，所述超薄聚酰亚胺薄膜的厚度为200nm-1000nm。


3.根据权利要求1所述的超薄聚酰亚胺薄膜的制备方法，其特征在于，所述聚酰胺酸溶液的质量百分浓度为20％-50％。


4.根据权利要求3所述的超薄聚酰亚胺薄膜的制备方法，其特征在于，所述聚酰胺酸溶液与溶剂的体积比为5：1-1：1。


5.根据权利要求1所述的超薄聚酰亚胺薄膜的制备方法，其特征在于，所述溶剂选用N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、四甲基尿素、γ-丁基内酯、二甲基砜的任一种或两种以上的混合溶剂。


6.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘景全，郭哲俊，王隆春，奚野，涂柯俊，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海;31