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转印滚轮的移动式成形系统及离子蚀刻设备技术方案
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文档序号:29384818
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本实用新型公开一种转印滚轮的移动式成形系统及离子蚀刻设备。转印滚轮的移动式成形系统包括:离子蚀刻设备,包含:无尘腔体,形成有相连通的加工件空间及蚀刻器空间;环型离子蚀刻器,安装于无尘腔体且位于蚀刻器空间内,且具有朝向加工件空间的环状驱动面;...
该专利属于光群雷射科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光群雷射科技股份有限公司授权不得商用。
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