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本发明公开了一种ITWO靶材，涉及靶材制备领域。本发明所述ITWO靶材包括氧化金属组合物，所述氧化金属组合物包括以下组分：氧化铟、氧化锡和氧化钨；氧化钨占氧化铟和氧化锡总质量的1‑5％；所述ITWO靶材的制备过程包括：将所述氧化金属组合物压...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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