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本申请提供一种在基板上形成微细结构的激光加工装置和加工方法，该激光加工装置包括：激光器，其发出激光；载物台，其承载基板；光学系统，其将所述激光器发出的激光导引到所述基板，从而向所述基板照射复数个光束；图形生成系统，其形成微细结构的加工图形；...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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