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一种高压硅堆合金的加工装置及合金方法。涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种高压硅堆合金的加工装置及合金方法。包括工件、环形电磁加热装置和工件厚度监测单元，还包括压力单元、温度传感器和控制器；所述工件由若干晶圆和若干焊片交错堆叠而成；所述工件...
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