下载一种PERC电池的背面结构层的技术资料

文档序号:29361398

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本实用新型公开了一种PERC电池的背面结构层,包括依次沉积在硅片背面的氧化铝膜层、SiNx结构层和铝膜层,其中所述的SiNx结构层为分层结构,按从氧化铝膜层到铝膜层的方向由顺次设置的M层具有不同折射率和膜厚的SiNx分层膜组成。本实用新型通...
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