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本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及水箱供水排水系统，包括水箱和与水箱连通的进水管路、排水管路和供水管路和检测组件，进水管路设有第一阀体，排水管路设有第二阀体，检测组件包括PH值检测装置和液位检测装置，分别用于检测水箱内的循环水的PH...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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