水箱供水排水系统技术方案

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，尤其涉及水箱供水排水系统，包括水箱和与水箱连通的进水管路、排水管路和供水管路和检测组件，进水管路设有第一阀体，排水管路设有第二阀体，检测组件包括PH值检测装置和液位检测装置，分别用于检测水箱内的循环水的PH值和液位高度，以控制第一阀体与第二阀体的开关。根据PH值检测装置与液位检测装置的相互配合，在PH值满足排放标准时，才进行水箱的排水，同时在排水的过程中能够根据液位情况控制排水与再次补水的启停，能够有效避免由于水箱内部的循环水的酸浓度不是很大，但系统在一直补给新水造成的频繁排水，导致水资源的浪费。

【技术实现步骤摘要】
水箱供水排水系统
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及水箱供水排水系统。
技术介绍
目前，半导体废气处理设备主要原理是设备产生高温，将制程废气进行分解处理，为保证系统的稳定，系统降温是一个很重要的环节。废气处理设备都有一套水降温系统，将产生的高温通过水系统带走，避免后端设备或机台本身热量外散，造成人员烫伤等危害。同时水系统还可以将一些溶于水的副产物进行溶解处理，所以水系统的水大部分为酸性水。半导体废气处理设备的水循环系统基本由水箱储水，新水一直进行补给，防止水箱内部的酸浓度过大。由于水箱一直在补给新鲜水，所以当水箱液位到达排水液位后，排水阀打开，将水箱内部的水排出至合理液位停止排水，并且一直循环该过程。由于水箱内部的酸浓度一般情况下都比较小，而且设备在一直补给新鲜水造成频繁排水，容易造成水资源的浪费。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种水箱供水排水系统，根据PH值检测装置与液位检测装置的相互配合，在PH值满足排放标准时，才进行水箱的排水，同时在排水的过程中能够根据液位情况本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水箱供水排水系统，其特征在于：包括水箱和与所述水箱连通的进水管路、排水管路和供水管路和检测组件，所述进水管路设有第一阀体，所述排水管路设有第二阀体，所述检测组件包括PH值检测装置和液位检测装置，分别用于检测所述水箱内的循环水的PH值和液位高度，以控制所述第一阀体与所述第二阀体的开关。/n

【技术特征摘要】
1.一种水箱供水排水系统，其特征在于：包括水箱和与所述水箱连通的进水管路、排水管路和供水管路和检测组件，所述进水管路设有第一阀体，所述排水管路设有第二阀体，所述检测组件包括PH值检测装置和液位检测装置，分别用于检测所述水箱内的循环水的PH值和液位高度，以控制所述第一阀体与所述第二阀体的开关。


2.根据权利要求1所述的水箱供水排水系统，其特征在于：所述液位检测装置包括第一液位检测器和第二液位检测器，所述第一液位检测器设置于所述第二液位检测器的上方。


3.根据权利要求1所述的水箱供水排水系统，其特征在于：所述排水管路连接于所述供水管路的出水管上。


4.根据权利要求1所述的水箱供水排水系统，其特征在于：所述供水...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春涛，张坤，杨春水，蔡传涛，席涛涛，宁腾飞，王继飞，闫潇，章文军，陈彦岗，何磊，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11