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本实用新型公开了一种基片加热结构。本实用新型一实施例中，基片加热结构可以包括：包括托盘、上加热板和下加热板。其中，托盘能活动设置于所述上加热板和所述下加热板之间，用于承载基片；上加热板，其朝向所述托盘的一面为发热面；所述发热面的至少部分周边...该专利属于宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）所有，仅供学习研究参考，未经过宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业（有限合伙）授权不得商用。