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本发明涉及EUV光源散热系统技术领域，具体为一种半导体光刻机，包括：电极套，所述电极套内轴心处贯穿设置有EUV光发射端。本发明当净水冷却水经过进水管上设置的第一冷却套时，净水冷却水能够使得散热环板转动，第二循环水管内的冷水被均匀的分散在圆柱...
该专利属于李美娟所有，仅供学习研究参考，未经过李美娟授权不得商用。

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