下载氧化物薄膜晶体管、阵列基板、制备方法及显示面板的技术资料

文档序号:29302118

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本申请公开了一种氧化物薄膜晶体管、阵列基板、制备方法及显示面板,涉及显示技术领域。该制备方法在依次形成第一绝缘层,第二绝缘层以及金属氧化物结构之后,可以对第一绝缘层进行加热,以使得第一绝缘层中的氢元素扩散至与该第一绝缘层接触的金属氧化物结构...
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