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聚焦式原子力显微镜制造技术
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文档序号:29286543
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本发明公开一种聚焦式原子力显微镜,该显微镜包含有一光发射器、一聚光透镜、一检测件、及一光检测装置。光发射器能朝向聚光透镜发出一光线,以使光线穿过聚光透镜后聚焦于一聚焦位置。在光线穿过聚光透镜后于检测件反射,而后能被光检测装置接收。检测件能检...
该专利属于精浚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精浚科技股份有限公司授权不得商用。
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