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本发明提供了一种旋转喷头、清洗设备及清洗方法，所述旋转喷头包括：喷嘴，其用于喷布药液；固定模块，其连接并固定所述喷嘴；驱动模块，其用于驱动所述喷嘴转动，以调节所述喷嘴的喷布方向。本发明通过设置驱动模块驱动喷嘴转动，使喷嘴能够调整药液喷布方向...
该专利属于盛美半导体设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛美半导体设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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