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本实用新型公开了一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构，包括盛有液态硅的石英坩埚，所述液态硅的液面上设有外导流筒，外导流筒为纵向布置的管状结构，其底部开口小于上部开口，所述外导流筒内置与其结构相同的内导流筒，外导流筒与内导流筒之间为高效保...
该专利属于包头美科硅能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过包头美科硅能源有限公司授权不得商用。

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