一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构制造技术

技术编号:29278082 阅读:31 留言:0更新日期:2021-07-16 22:56
本实用新型专利技术公开了一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构,包括盛有液态硅的石英坩埚,所述液态硅的液面上设有外导流筒,外导流筒为纵向布置的管状结构,其底部开口小于上部开口,所述外导流筒内置与其结构相同的内导流筒,外导流筒与内导流筒之间为高效保温毡,外导流筒的上边缘与内导流筒的上边缘之间填充有导流筒固毡环,所述内导流筒内安装有水冷屏。本实用新型专利技术可以有效地提高等径过程中单晶的生长速度,增加掺镓单晶的有效长度。增加掺镓单晶的有效长度。增加掺镓单晶的有效长度。

【技术实现步骤摘要】
一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构


[0001]本技术涉及光伏制造
,尤其涉及一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构。

技术介绍

[0002]目前RCZ法拉制太阳能级单晶法越发成熟,炉体也越来越大,拉制的单晶尺寸也越来越大。随市场的发展,掺镓单晶硅的市场需求越来越大,如何提高单晶晶棒的有效长度成为重要的研究方向。 研究发现高拉速可以在一定程度上提高单晶棒的有效长度,降低分凝作用。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的问题,而提出的一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构。
[0004]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0005]一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构,包括盛有液态硅的石英坩埚,所述液态硅的液面上设有外导流筒,外导流筒为纵向布置的管状结构,其底部开口小于上部开口,所述外导流筒内置与其结构相同的内导流筒,外导流筒与内导流筒之间为高效保温毡,外导流筒的上边缘与内导流筒的上边缘之间填充有导流筒固毡环,所述内导流筒内安装有水冷屏,所述水冷屏的内径与单晶硅本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种RCZ法拉制镓掺杂单晶硅的导流筒结构,且特征在于:包括盛有液态硅(7)的石英坩埚(8),所述液态硅(7)的液面上设有外导流筒(6),外导流筒(6)为纵向布置的管状结构,其底部开口小于上部开口,所述外导流筒(6)内置与其结构相同的内导流筒(3),外导流筒(6)与内导流筒(3)之间为高效保温毡(5),外导流筒(6)的上边缘与内导流筒(3)的上边缘之间填充有导流筒固毡环(4),所述内导流筒(3)内安装有水冷屏...

【专利技术属性】
技术研发人员:马新星王艺澄
申请(专利权)人:包头美科硅能源有限公司
类型:新型
国别省市:

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