下载一种能自动识别的基片架、识别方法及自动识别装置的技术资料

文档序号:2927258

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本发明公开了一种基片架,包括基片架本体,在基片架本体上开设有一组与基片架的编号相对应的能使光信号穿过的条形光栅孔编码。本发明还公开了一种对连续镀膜生产线基片架的自动识别方法,包括如下步骤:1)通过光电开关检测在运动的基片架上开设的条形光栅孔...
该专利属于深圳豪威真空光电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳豪威真空光电子股份有限公司授权不得商用。

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