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本申请公开了一种长晶炉生长腔冷却系统，包括冷却管，冷却管包括冷却介质容腔，冷却管所围成的区域设为晶体的生长腔；冷却管上设有冷却介质入口和冷却介质出口，主冷却介质供入通道与冷却介质入口流路连通，冷却介质出口与主冷却介质排出通道流路连通；长晶炉...
该专利属于上海天岳半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海天岳半导体材料有限公司授权不得商用。

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