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对具有被嵌入线路特征的层应用分析计算的技术和系统，用以获取应力信息、设计微结构、并设计和控制加工工艺。...
该专利属于加州理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过加州理工大学授权不得商用。

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