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本发明涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。包括工作台，工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴...
该专利属于苏州伊欧陆系统集成有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州伊欧陆系统集成有限公司授权不得商用。

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