一种应用于探针台的多通道测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。包括工作台，工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在探卡Y轴位移组件上；若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；晶圆卡盘机构设置在探卡机构的下方。本发明专利技术可装备多组探卡机构，每个探卡机构均可在三维空间内进行大行程快速移动和小行程的精准定位，从而组成多通道测试装备，满足不同大小和高度芯片的扎针。针。针。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于探针台的多通道测试装置


[0001]本专利技术涉及集成电路测试
，具体涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。

技术介绍

[0002]随着科学技术的进步，在半导体集成电路的性能方面，相关的一些行业就提出了很高的要求。这在很大程度上促进了半导体集成电路的发展，整体而言，目前的半导体集成电路的发展的主要目标就是达到高度的准确性，但是随着生产的要求逐渐提高，制造的技术和过程比之前也复杂了很多。所以为了有效监测集成电路是否达到预定的可靠性和稳定性要求并降低生产成本，有必要采用一些方法对于集成电路的可靠性进行一定程度的检测。可靠性在实际的应用过程中产生着非常重要的作用。很多时候，可靠性被用来评估产品能否在规定条件下和规定的时间内完成特定的功能。
[0003]到目前为止，我国采用被动筛选的方法进行半导体的可靠性检测，但是被动筛选需要得到庞大的资金支持和人员维护，而且筛选的方式比较基础，通过不同环境下长时间测试完成，因此整个而言效率不是很高。
[0004]在现有技术中，芯片可靠性测试主要是通过探针在特定环境中进行测试，但由于每次本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的台面上设置有显微镜位移台(2)，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台(4)和晶圆卡盘机构(6)；所述显微镜位移台(2)包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构(3)；所述探卡翻转位移台(4)包括探卡Y轴位移组件(401)和若干探卡X轴位移组件(402)，所述若干探卡X轴位移组件(402)均通过探卡翻转机构(403)滑动设置在所述探卡Y轴位移组件(401)上；所述若干探卡X轴位移组件(402)上均滑动设置有若干探卡机构(5)，所述若干探卡机构(5)均包括探卡四轴微调滑台和探卡；所述晶圆卡盘机构(6)设置在所述探卡机构(5)的下方。2.如权利要求1所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡四轴微调滑台包括探卡Z轴微调滑台(501)、探卡X轴微调滑台(502)、探卡Y轴微调滑台(504)和探卡θ轴微调滑台(506)；所述探卡机构(5)通过探卡滑块(4021)滑动设置在所述探卡X轴位移组件(402)的滑轨上，所述探卡Z轴微调滑台(501)设置在所述探卡滑块(4021)的后端，所述探卡X轴微调滑台(502)设置在所述探卡Z轴微调滑台(501)的后端，所述探卡Y轴微调滑台(504)通过L形转接板设置在所述探卡X轴微调滑台(502)的下端，所述探卡θ轴微调滑台(506)设置在所述探卡Y轴微调滑台(504)的下端，所述探卡(507)通过快拆机构设置所述探卡θ轴微调滑台(506)的前端。3.如权利要求2所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡机构(5)上还设置有线缆保护罩(505)。4.如权利要求2所述的一种应用于探针台的多通道测试装置，其特征在于：所述探卡θ轴微调滑台(506)包括θ轴转动板和θ轴限位块，所述θ轴转动板通过θ轴转动轴设置在所述探卡Y轴微调滑台(504)的下端，所述θ轴限位块用于控制所述探卡θ轴微调滑台(506)的转动角度。5.如权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：田腾腾，刘伟，张海洋，吕文波，
申请(专利权)人：苏州伊欧陆系统集成有限公司，
类型：发明
国别省市：