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本发明公开了一种具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及其制备方法。该气体传感器包括：壳体以及至少一套封装于壳体内部的加热型气体传感组件。该加热型气体传感组件包括：上下通孔型纳米管，内壁上沉积有纳米级气敏材料；传感电极，包括分别生长于上下...
该专利属于香港科技大学深圳研究院所有，仅供学习研究参考，未经过香港科技大学深圳研究院授权不得商用。

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