具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及其制备方法。该气体传感器包括：壳体以及至少一套封装于壳体内部的加热型气体传感组件。该加热型气体传感组件包括：上下通孔型纳米管，内壁上沉积有纳米级气敏材料；传感电极，包括分别生长于上下通孔型纳米管的上表面和下表面的顶部传感电极和底部传感电极，顶部传感电极与底部传感电极具有上下垂直相对的部分，将顶部传感电极与底部传感电极上下垂直相对的部分记为重叠部分；绝缘层，生长于底部传感电极的下表面；微型加热器，生长于绝缘层的下表面，包括加热电极以及与加热电极电连接的发热元件，发热元件与重叠部分上下垂直相对。本发明专利技术可实现更低功耗下更高性能的气敏响应。能的气敏响应。能的气敏响应。

【技术实现步骤摘要】
具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及制备方法


[0001]本专利技术涉及纳米气体传感器领域，特别是涉及一种具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及其制备方法。

技术介绍

[0002]气体传感器，特别是基于金属氧化物半导体(MOX)的电阻式气体传感器，广泛应用于环境污染监测、危险气体泄漏、化学物检测等生产生活领域。随着物联网技术的发展和精准医疗战略的推进，传统的MOX气体传感器在可穿戴便携式设备、即时诊断设备(POCT)、智慧城市、智慧家居等新兴领域中具有巨大的应用潜力，也面临着诸多挑战。
[0003]目前市面上的大多数MOX传感器具有功耗高及选择性差的缺点。传感器多为平面二维薄膜结构且需在高温下(300℃
‑
400℃)运行，通过加热来活化与目标气体之间的吸附能力以借此提高对气体的响应灵敏度，这使得他们不适用于低功耗运用场景。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器及其制备方法。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器，其特征在于，包括：壳体以及至少一套封装于所述壳体内部的加热型气体传感组件；所述加热型气体传感组件包括：上下通孔型纳米管，内壁上沉积有纳米级气敏材料；传感电极，包括生长于所述上下通孔型纳米管的上表面的顶部传感电极以及生长于所述上下通孔型纳米管的下表面的底部传感电极，所述顶部传感电极与所述底部传感电极具有上下垂直相对的部分，将所述顶部传感电极与所述底部传感电极上下垂直相对的部分记为重叠部分；绝缘层，生长于所述底部传感电极的下表面；微型加热器，生长于所述绝缘层的下表面，包括加热电极以及与所述加热电极电连接的发热元件，所述发热元件与所述重叠部分上下垂直相对。2.根据权利要求1所述的具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器，其特征在于，所述发热元件为蜿蜒型加热丝。3.根据权利要求1所述的具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器，其特征在于，所述气敏材料为SnO2或其他金属氧化物材料。4.根据权利要求1所述的具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器，其特征在于，所述纳米管为阳极氧化铝纳米管。5.根据权利要求1所述的具有微型加热器的垂直型三维纳米气体传感器，其特征在于，所述壳体为陶瓷管壳。6.根据权利要求1或5所述的具有微型...

【专利技术属性】
技术研发人员：范智勇，宋志龙，汤雯颖，陈卓，
申请(专利权)人：香港科技大学深圳研究院，
类型：发明
国别省市：