下载一种高通量高压极化装置的技术资料

文档序号:29221646

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本发明公开了一种高通量高压极化装置,包括框架、至少一个第一极化探针、夹持组件、至少一个第二极化探针及驱动组件,第一极化探针固定于框架;夹持组件包括固定件和至少一个夹持件,夹持件包括间隔设置于固定件的两个导电弹片,两个导电弹片用于夹持待极化的...
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