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本发明涉及一种氮化钽覆膜钢材料的制备装置，其包括反应室、感应加热系统、集液槽以及抽气注气系统；反应室包括反应槽、盖盘、第一盖帽和第二盖帽，反应槽由绝缘材料制成；盖盘盖住反应槽并密封连接，盖盘上设有一大圆孔；第一盖帽和第二盖帽不同时使用，第一...
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