温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种集成电路生产用光刻机，包括机箱、底座和螺栓，所述机箱的前端面下方安装有底座，所述底座通过多个螺栓与机箱螺纹相连，所述机箱的前端面上方安装有加工装置。该集成电路生产用光刻机，通过竖杆、第一斜齿轮、电机和第一竖板等结构之间的相互...
该专利属于吴青云所有，仅供学习研究参考，未经过吴青云授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。