一种集成电路生产用光刻机及其使用方法技术

本发明专利技术公开了一种集成电路生产用光刻机，包括机箱、底座和螺栓，所述机箱的前端面下方安装有底座，所述底座通过多个螺栓与机箱螺纹相连，所述机箱的前端面上方安装有加工装置。该集成电路生产用光刻机，通过竖杆、第一斜齿轮、电机和第一竖板等结构之间的相互配合，可以通过电机的输出轴带动第二斜齿轮进行转动，第二斜齿轮通过第一斜齿轮带动竖杆进行转动，竖杆通过工作台带动基片进行转动，从而提高了此装置的使用效果，通过第三竖板、第二凹形板、挡杆和弹簧等结构之间的相互配合，可以使第三竖板带动挡杆在第四竖板的通孔处进行移动，使挡杆对弹簧进行拉伸，同时通过挡杆可以将工件抵紧，从而提高了加工精度。从而提高了加工精度。从而提高了加工精度。

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路生产用光刻机及其使用方法


[0001]本专利技术涉及光刻机
，具体为一种集成电路生产用光刻机。

技术介绍

[0002]光刻机是生产大规模集成电路大规模集成电路的核心设备，制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，世界上只有少数厂家掌握，高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种，分辨率通常在十几纳米至几微米之间，高端光刻机号称世界上最精密的仪器，而现有技术中光刻机的基片并不方便进行转动，这样便降低了使用效果，同时现有技术中也没有对进行生产的集成电路进行固定，这样便容易影集成电路的加工效果。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种集成电路生产用光刻机，以解决上述
技术介绍
中提出的而现有技术中光刻机的基片并不方便进行转动，这样便降低了使用效果的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种集成电路生产用光刻机，包括机箱、底座和螺栓，所述机箱的前端面下方安装有底座，所述底座通过多个螺栓与机箱螺纹相连，所述机箱的前端面上方安装有加工装置；所述加工装置包括光刻机本体、控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成电路生产用光刻机，包括机箱（1）、底座（2）和螺栓（6），所述机箱（1）的前端面下方安装有底座（2），所述底座（2）通过多个螺栓（6）与机箱（1）螺纹相连，其特征在于：所述机箱（1）的前端面上方安装有加工装置（3）。2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用光刻机，其特征在于：所述加工装置（3）包括光刻机本体（301）、控制面板（302）、显示屏（303）、基片（304）和工作台（305）；所述光刻机本体（301）的后端面上方与机箱（1）固定相连，所述光刻机本体（301）的左侧设有控制面板（302），所述控制面板（302）的后端面与机箱（1）的前端面上方固定相连，所述控制面板（302）的右侧设有显示屏（303），所述显示屏（303）的后端面与机箱（1）前端面上方固定相连，所述光刻机本体（301）的下方设有基片（304），所述基片（304）的下表面固接有工作台（305）；所述底座（2）的上方安装有转动装置（4）；所述转动装置（4）包括竖杆（401）、第一斜齿轮（402）、第二斜齿轮（403）、电机（404）和第一竖板（405）；所述竖杆（401）的上方与工作台（305）的下表面固定相连，所述竖杆（401）的下方外壁与底座（2）的内部转动相连，所述竖杆（401）的上方外壁固接有第一斜齿轮（402），所述第一斜齿轮（402）的左右两侧下方均设有第二斜齿轮（403），所述第二斜齿轮（403）与第一斜齿轮（402）相互啮合，所述第二斜齿轮（403）的外侧安装有电机（404），所述电机（404）的输出轴与第二斜齿轮（403）的外侧固定相连，所述第二斜齿轮（403）的外侧设有第一竖板（405），所述第一竖板（405）的内部与电机（404）的外壁固定相连，所述第一竖板（405）的下表面与底座（2）的上表面外壁固定相连；所述底座（2）的外侧上方安装有固定装置（5）；所述固定装置（5）包括第二竖板（501）、液压缸（502）、第一凹形板（503）、转轮（504）、第三竖板（505）、第二凹形板（506）、第四竖板（507）、挡杆（508）和弹簧（509）；左右所述第二竖板（501）的下表面与底座（2）的上表面固定相连，所述第二竖板（501）的中间内部固接有液压缸（502），所述液压缸（502）的外侧固接有第一凹形板（503），所述第一凹形板（503）的凹槽处通过转轴转动连接有转轮（504），所述转轮（5...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴青云，
申请(专利权)人：吴青云，
类型：发明
国别省市：