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本发明公开了一种反应系统，包括：反应器，具有反应腔以及连通反应腔的进气口和抽气口；进气装置，设置在进气口，用于向反应腔供给反应气体；抽气系统，和抽气口连接，用于对反应腔内进行抽气；旋转装置，绕自身轴线可转动地设置在反应器上，旋转装置的一端伸...
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