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本实用新型涉及一种长行程高精密二维平台,包括下驱动机构和上驱动机构,下驱动机构包括第一底座、滑动基板、第一管型直线电机以及引线板,第一管型直线电机的第一初级线圈固定在第一底座上,其电缆连接在引线板上;上驱动机构包括第二底座、载物台、以及第二...该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。
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