一种长行程高精密二维平台制造技术

本实用新型专利技术涉及一种长行程高精密二维平台，包括下驱动机构和上驱动机构，下驱动机构包括第一底座、滑动基板、第一管型直线电机以及引线板，第一管型直线电机的第一初级线圈固定在第一底座上，其电缆连接在引线板上；上驱动机构包括第二底座、载物台、以及第二管型直线电机，第二管型直线电机的第二初级线圈固定在所述第二底座上，其电缆通过一柔性拖链与引线板连接。本实用新型专利技术实施例通过使下驱动机构的电缆直接引出固定在引线板上，上驱动机构的电缆从第二底座引出，利用柔性拖链固定在引线板上，极大的提高了整个二维平台运行的平稳性，特别是驱动载物台的控制精度。特别是驱动载物台的控制精度。特别是驱动载物台的控制精度。

【技术实现步骤摘要】
一种长行程高精密二维平台


[0001]本技术属于移动平台
，尤其涉及一种长行程高精密二维平台。

技术介绍

[0002]随着半导体光刻技术、微型机械、精密测量、超精密加工和纳米技术等的迅速发展，对高精密、高分辨率、长行程的平台有着广泛的需求，尤其在航空航天、武器装备、光学、半导体、医疗设备等领域一直占据着极其重要的位置。
[0003]现有精密移动平台多采用I型直线电机驱动，动线圈结构，运动惯量小，动态响应快，但运动电缆需用坦克链来进行固定和保护，且平台高度受限于坦克链的折弯半径，不适用于高精密驱动以及高度空间有严格限制的场合，而长行程的动磁铁结构运动惯量大，降低了系统的动态响应速度。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种长行程高精密二维平台，用以解决现有技术中移动平台因坦克链带来的运行不平顺及空间高度受限的技术问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供了一种长行程高精密二维平台，包括：
[0006]下驱动机构，所述下驱动机构包括第一底座、滑动设于所述第一底座上的滑动基板、沿X轴方向延伸的第一管型直本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长行程高精密二维平台，其特征在于，包括：下驱动机构，所述下驱动机构包括第一底座、滑动设于所述第一底座上的滑动基板、沿X轴方向延伸的第一管型直线电机、以及设于所述第一底座一侧的引线板，所述第一管型直线电机包括第一初级线圈以及穿设在所述第一初级线圈内的第一次级磁棒，所述第一初级线圈固定在所述第一底座上，所述第一次级磁棒的两端与所述滑动基板固定，且所述第一初级线圈的电缆连接在所述引线板上；上驱动机构，所述上驱动机构包括固定安装在所述滑动基板上的第二底座、滑动设于所述第二底座上的载物台、沿Y轴方向延伸的第二管型直线电机，所述第二管型直线电机包括第二初级线圈以及穿设于所述第二初级线圈内的第二次级磁棒，所述第二初级线圈固定在所述第二底座上，所述第二次级磁棒的两端与所述载物台固定，且所述第二初级线圈的电缆通过一柔性拖链与所述引线板连接。2.根据权利要求1所述的长行程高精密二维平台，其特征在于，所述第一底座上形成有沿X轴方向延伸至两端并用于容纳所述第一次级磁棒的第一滑动槽，所述第一初级线圈固定在所述第一滑动槽的中部；所述第二底座上形成有沿Y轴方向延伸至两端并用于容纳所述第二次级磁棒的第二滑动槽，所述第二初级线圈固定在所述第二滑动槽的中部。3.根据权利要求1所述的长行程高精密二维平台，其特征在于，所述第一底座与滑动基板之间还设有第一位置反馈组件，所述第一位置反馈组件包括沿X轴方向延伸的安装在所述滑动基板底部的第一光栅尺、以及安装在所述第一底座上并与所述第一光栅尺对应的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：周钟仁，张国平，高月波，秦晓峰，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：