温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型的一种LCD工艺中的成像用丙烯酸显影液的再生系统，主要包括：并联设置的第一过滤器单元和第二过滤器单元；其显影废液进口处分别设有流入压力传感器；其再生液出口处分别设有排出压力传感器；其显影废液进口分别与显影废液储罐相连接，其再生液出...
该专利属于上海三盼半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海三盼半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。