下载一种半导体产品生产用蚀刻加工设备的技术资料

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本实用新型提供一种半导体产品生产用蚀刻加工设备。所述半导体产品生产用蚀刻加工设备包括第一壳体;通孔,所述通孔开设在所述第一壳体的底部内壁上;第一腔室,所述第一腔室开设在所述第一壳体上,且所述通孔与所述第一腔室相连通;水泵,所述水泵固定安装在...
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