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本实用新型涉及离子注入机技术领域，且公开了一种离子注入机用抽真空装置，包括离子注入机本体，离子注入机本体的一侧中间与抽气杆的一侧固定连接，抽气杆的内壁与方型滑块的外壁滑动连接，方型滑块的一侧中间与第一连接杆的一侧中间位置固定连接，本实用新型...
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