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本实用新型公开了一种硅片清洗装置，包括预清洗槽、第一药洗槽、第一漂洗槽、第二药洗槽和第二溢流漂洗槽，所述第二溢流漂洗槽的溢流水箱连接有泵体，所述泵体出水端连接有热交换器；所述热交换器的一端连接预清洗槽的进水管，另一端连接第二溢流漂洗槽的纯水...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。

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