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本发明公开了一种矩形平面磁控溅射阴极，包括框体，所述框体内底部固定安装有伸缩装置，所述伸缩装置上端固定安装有动力装置，所述动力装置两侧均固定安装有一个储料装置，所述储料装置远离动力装置的一端固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆远离储料装置的一端固定...
该专利属于斡兹真空科技(嘉兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过斡兹真空科技(嘉兴)有限公司授权不得商用。

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