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一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法技术
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文档序号:29149621
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本发明公开了一种非金属材料表面渗镀高纯硫化锌薄膜的方法,包括以下步骤:(1)非金属基体清洗后放入氧等离子刻蚀机中进行刻蚀;(2)将刻蚀完成的非金属基体置于磁控溅射装置样品台,利用硫化锌靶材在非金属基体上沉积硫化锌薄膜。该方法将氧等离子刻蚀和...
该专利属于南京信息工程大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京信息工程大学授权不得商用。
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