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在紧凑模型中用于基于版图调整和优化氮化物衬垫应力效应的方法技术
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下载在紧凑模型中用于基于版图调整和优化氮化物衬垫应力效应的方法的技术资料
文档序号:2914916
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用于紧凑模型算法(310-350)的系统和方法,其准确地考虑半导体器件(200)中氮化物衬垫(260)应力所引起的版图相关的变化的影响。与版图相关的紧凑模型算法(310-350)通过实现用于获得正确的应力响应近似的算法以及用于获得正确的驱动...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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