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TGV深孔填充方法技术
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文档序号:29137112
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本发明提供了一种TGV深孔填充方法,包括以下步骤:A、对玻璃基板进行清洗;B、对玻璃基板进行激光打孔,得到多个玻璃通孔;C、采用腐蚀液对玻璃基板以及玻璃通孔进行腐蚀;D、对玻璃基板以及玻璃通孔进行种子层溅射;E、将玻璃基板浸泡在稀硫酸溶液中...
该专利属于成都迈科科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都迈科科技有限公司授权不得商用。
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