下载TGV深孔填充方法的技术资料

文档序号:29137112

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本发明提供了一种TGV深孔填充方法,包括以下步骤:A、对玻璃基板进行清洗;B、对玻璃基板进行激光打孔,得到多个玻璃通孔;C、采用腐蚀液对玻璃基板以及玻璃通孔进行腐蚀;D、对玻璃基板以及玻璃通孔进行种子层溅射;E、将玻璃基板浸泡在稀硫酸溶液中...
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