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本发明涉及一种基于无掩膜光刻机的数字掩膜版工艺，将已经设计的图形采用软件处理生成黑白二值的位图图像，接着传入DMD，利用DMD的特性使紫外光对应位图图像的部分反射，黑色区域不会反射紫外光，白色区域反射紫外光，使样品得到正确的曝光，完成光刻。...
该专利属于赫智科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赫智科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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